導(dǎo)讀：電子制造行業(yè)VOCs有機(jī)廢氣治理方法，目前電子產(chǎn)品制造行業(yè)使用的有機(jī)廢氣治理技術(shù)主要包括活性碳吸附法沸石分子篩濃縮轉(zhuǎn)輪燃燒法、蓄熱式催化燃燒法。...

1.前言rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

電子元件是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，其產(chǎn)品-般包括電容器、電阻、電位器、電連接元件、控制元件，以及敏感元件和傳感器等，電子元件產(chǎn)品具有種類多、生產(chǎn)工藝差別大，生產(chǎn)線更新變化快的特點(diǎn)，加工工藝-般涉及機(jī)械、化工、熱加工或配制等多種工藝的組合。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

在電子元件制造車間環(huán)境中，工人長時(shí)間工作時(shí)大量VOC的排放對(duì)人體的身體造成了巨大的威脅。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

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2.行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

電子產(chǎn)品制造行業(yè)的VOCs排放濃度較高平均排放濃度在55mg/m3左右，收集或者處理程度比較低。目前存在的難題是：rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

(1)該行業(yè)的部分生產(chǎn)線變化性較大，而且更換周期不定。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

(2)VOC排放濃度在各個(gè)工藝之間差異較大，這對(duì)VOC集中收集造成了不小的難度，對(duì)該行業(yè)VOC排放標(biāo)準(zhǔn)的制定也有很大影響。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

3.行業(yè)VOCs治理技術(shù)rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

目前電子產(chǎn)品制造行業(yè)使用的有機(jī)廢氣治理技術(shù)主要包括活性碳吸附法沸石分子篩濃縮轉(zhuǎn)輪燃燒法、蓄熱式催化燃燒法。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

(1)活性碳吸附法rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

在電子產(chǎn)品制造行業(yè)的電路板清洗過程中，大量的有機(jī)溶劑如異丙醇等在使用過程中揮發(fā)，通過超聲波清洗劑上方局部排風(fēng)系統(tǒng)收集，目前通常采用固定床活性炭吸附裝置處理后排放�；钚蕴繉俜菢O性吸附劑，對(duì)非極性化合物的吸附能力較強(qiáng)，一般用來凈化較低濃度的三氯乙烯、二氯甲烷、四氯乙烯、四氯化碳、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸、乙酯等。一般的處理工藝流程圖如下所示。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

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圖1 活性炭吸附法工藝流程圖rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

(2)沸石分子篩濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

沸石分子篩濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法是目前被集成電路企業(yè)所廣泛采用的有機(jī)氣體處理方法。有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪，通過沸石分子篩吸附了廢氣中大部分有機(jī)成分，形成較干凈的空氣，一部分較干凈的氣體排放至大氣中，而另一部分氣體則進(jìn)入再生區(qū)，經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機(jī)成分，這樣可降低后續(xù)處理程序的操作成本。一般工藝流程如圖4所示。利用沸石分子篩濃縮轉(zhuǎn)輪將大風(fēng)量低濃度的廢氣濃縮成小風(fēng)量高濃度，再以直燃式(燃?xì)馐?焚化的方式，將有機(jī)成分轉(zhuǎn)化為無害的CO2 和水，以達(dá)到去除有機(jī)物的目的。沸石分子篩轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點(diǎn)是可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)吸附和解析，不存在吸附劑的飽和問題，適當(dāng)?shù)恼{(diào)整轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速，再生溫度、風(fēng)量等，獲相當(dāng)良好的效果，對(duì)于有機(jī)成分的去除率在90 %左右，濃縮倍數(shù)可達(dá)5~20。但是，保持這么高的溫度所需燃料費(fèi)用很大。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

圖2 濃縮轉(zhuǎn)輪一般工藝流程圖rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

(3)蓄熱式催化燃燒法（RCO）rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

與蓄熱式燃燒法（RTO）不同，RCO催化燃燒所需的反應(yīng)溫度更低（一般在500 oC下），且不會(huì)產(chǎn)生NOx等二次污染物。催化燃燒法的關(guān)鍵是催化劑，按催化劑活性組分可分為貴金屬（Pt、Pd、Au等）和過渡金屬金屬氧化物(如Cr2O3、CuO、MnOx等)催化劑，覆蓋于載體表面。催化燃燒一般反應(yīng)為:rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

CxHy + O2 → CO2 + H2O + 熱量，(碳?xì)浠�合物，有�?→(無害)rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

RCO系統(tǒng)是在一定溫度下廢氣中VOC與催化劑作用發(fā)生催化氧化反應(yīng)，去除效率可達(dá)99 %，采用蓄熱材質(zhì)（如陶瓷）的催化室可大幅減少熱量的損耗。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司

催化燃燒系統(tǒng)流程十分簡單，圖3說明了各種設(shè)備中的主要組件，整套系統(tǒng)包括:預(yù)熱器、催化劑床層、熱交換器、送風(fēng)機(jī)以及溫度、風(fēng)量控制單元。rgM廢氣處理_廢氣處理設(shè)備_工業(yè)廢氣處理_江蘇龍?zhí)┉h(huán)保設(shè)備制造有限公司
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