半導(dǎo)體硅基材料后處理廢氣系統(tǒng)

時(shí)間：2022-06-16 來源：關(guān)鍵詞：瀏覽：

導(dǎo)讀： 1.1 設(shè)計(jì)基礎(chǔ)條件（1）設(shè)備名稱（位號(hào)）：半導(dǎo)體硅基材料后處理廢氣系統(tǒng)（2）年運(yùn)行時(shí)間≥8000 小時(shí)（連續(xù)運(yùn)行）；安裝地點(diǎn)：室內(nèi)/室外（3）氣象條件設(shè)備地處中...

1.1 設(shè)計(jì)基礎(chǔ)條件

（1）設(shè)備名稱（位號(hào)）：半導(dǎo)體硅基材料后處理廢氣系統(tǒng)

（2）年運(yùn)行時(shí)間≥8000 小時(shí)（連續(xù)運(yùn)行）；安裝地點(diǎn)：室內(nèi)/室外

（3）氣象條件

設(shè)備地處中溫帶半干旱氣候區(qū)，受冬季冷高壓及夏季副熱帶高壓影響，呈現(xiàn)出典型的大陸性氣候特征：冬季寒冷而漫長；夏季炎熱而短促，日溫差大；春季干旱多風(fēng)；秋季涼爽，光照充足。

廢氣污染物主要成分：一氧化氮（NO）、二氧化氮（NO2）、三氧化二氮（N2O3）、四氧化二氮（N2O4）、五氧化二氮（N2O5）、氟化氫、氯化氫、硝酸等。

排放氣體標(biāo)準(zhǔn)：按照國家最新《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》，結(jié)合當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境局管控標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，其中氮氧化物的排放濃度不得高于5mg/Nm3，氟化物的排放濃度不得高于0.4mg/Nm3。

1.4 方案可行性及優(yōu)勢(shì)

1．本方案處理廢氣可行性

（1）環(huán)保無污染，同時(shí)工藝先進(jìn)，凈化吸收效率高。

（2）實(shí)現(xiàn)凈化設(shè)施自動(dòng)、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行；便于調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)。也可用于手動(dòng)操作，以便于設(shè)施的調(diào)試和檢修。

2．本方案處理廢氣的優(yōu)勢(shì)

（1）適用性：該項(xiàng)目所采用的技術(shù)應(yīng)與業(yè)主的需處理廢氣規(guī)模、需要去除的廢氣污染物，地區(qū)特點(diǎn)以及管理水平相適應(yīng)。體現(xiàn)在：

1) 采用的技術(shù)應(yīng)與需去除的污染物相適應(yīng)；

2) 采用的技術(shù)應(yīng)與需要的設(shè)備相適應(yīng)，包括國內(nèi)設(shè)備和國外設(shè)備，主要設(shè)備和輔助設(shè)備；

3) 采用的技術(shù)應(yīng)與項(xiàng)目所在地區(qū)特點(diǎn)、員工素質(zhì)和管理水平相適應(yīng)；

4) 采用的技術(shù)應(yīng)對(duì)污染物的排放廢氣處理的能力相適應(yīng)。

（2）可靠性：該廢氣處理工藝成熟可靠，能保證處理效果、性能和處理能力，避免了資源浪費(fèi)和安全危害。

（3）經(jīng)濟(jì)性：該項(xiàng)目充分考慮了一次性投資費(fèi)用和將來可能發(fā)生的運(yùn)行費(fèi)用。

（4）自動(dòng)化：全套廢氣處理裝置為全自動(dòng)化運(yùn)行，整個(gè)工藝過程由PLC程序控制，風(fēng)機(jī)、循環(huán)泵的啟停，儀表與閥門的控制連鎖等。觸摸屏顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、操作時(shí)間，顯示溫度和壓力等參數(shù)，具有監(jiān)測(cè)及異常報(bào)警功能。

（5）安全性：充分考慮了消防、防爆等安全因素，運(yùn)行穩(wěn)定，安全可靠。因此，綜合以上因素，本方案凈化系統(tǒng)無論是在技術(shù)合理性、先進(jìn)性，還是經(jīng)濟(jì)可行性方面都相對(duì)有優(yōu)勢(shì)。建設(shè)費(fèi)用及運(yùn)行費(fèi)用相對(duì)合理，采用的技術(shù)原理是合理、可行的。

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