真空泵機組以羅茨泵 為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。水環真空機組選用的水環泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單台水環泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優點。它能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空係統不允許油汙染時更為明顯。如果配有防爆電機及電器時並遵守相應的安全規則下,還能夠抽除易燃易爆的氣體。